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锐峰先科技术有限公司

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1. 手动超声波扫描显微镜:

D9650 C-SAM 超声波扫描显微镜

D9650 是专门设计用于故障分析、工艺开发、材料表征和小批量生产检测的通用型工具。

Gen7 C-SAM 超声波扫描显微镜

新一代 C-SAM 技术,先进和功能齐全的 C-SAM 声学显微镜,适用于实验室分析和专业高分辨率应用。

2. 全自动超声波扫描显微镜:

DF2400 FACTS² C-SAM 自动超声波扫描显微镜

DF2400 FACTS²是一款自动在线式超声波扫描显微镜,专为大批量生产环境设计,以实现质量和制程控制。

AW 系列 C-SAM 自动超声波扫描显微镜

AW 系列产品是为晶圆检测而设计全自动系统。高灵敏度和高产能的优势可用于多种键合的晶圆的评估,如SOI,MEMS,LED,2.5D和3D。

SpinSAM C-SAM 自动超声波扫描显微镜

SpinSAM 自动化检测工具能够实现高通量和更高的灵敏度,以便精准定位基于晶圆组件中的缺陷。成功的应用案 例包括键合晶圆、晶圆上芯片、堆叠晶圆、微机电系统(MEMS)、包封成型晶圆等等。