1. 手动超声波扫描显微镜:
D9650 C-SAM 超声波扫描显微镜
D9650 是专门设计用于故障分析、工艺开发、材料表征和小批量生产检测的通用型工具。
Gen7 C-SAM 超声波扫描显微镜
新一代 C-SAM 技术,先进和功能齐全的 C-SAM 声学显微镜,适用于实验室分析和专业高分辨率应用。
2. 全自动超声波扫描显微镜:
DF2400 FACTS² C-SAM 自动超声波扫描显微镜
DF2400 FACTS²是一款自动在线式超声波扫描显微镜,专为大批量生产环境设计,以实现质量和制程控制。
AW 系列 C-SAM 自动超声波扫描显微镜
AW 系列产品是为晶圆检测而设计全自动系统。高灵敏度和高产能的优势可用于多种键合的晶圆的评估,如SOI,MEMS,LED,2.5D和3D。
SpinSAM C-SAM 自动超声波扫描显微镜
SpinSAM 自动化检测工具能够实现高通量和更高的灵敏度,以便精准定位基于晶圆组件中的缺陷。成功的应用案 例包括键合晶圆、晶圆上芯片、堆叠晶圆、微机电系统(MEMS)、包封成型晶圆等等。




