离线X光检测
Quadra 7 Pro拥有强大的X射线检测性能。
Quadra™ Pro 系列可生成良好的超高清图像。内部设计的高性能双模式 NT4 X 光管和 Onyx 检测器可让您看到非常微小的细节，并立即发现缺陷。一切清晰立现。
将图像转化为解决方案
Quadra™ 7 Pro 为后端半导体应用提供更高分辨率的 3D/2D 手动检查提供了良好的解决方案。配备革新的 Onyx 检测器技术，可提供优秀的图像清晰度并降低噪声水平，通过高水平的准确性和效率来提升检查体验。
Quadra 7 Pro 配备了诺信最新的双模 Quadra NT4 管，为用户提供强大的灵活性。这一创新功能提供亮度和分辨率模式，允许操作员根据特定的应用要求在两种模式之间动态切换。
除了先进的硬件外，Quadra 7 Pro 还配备新开发的 Revalution™ 软件。
Revalution™ 软件专为高端半导体应用而设计，通过直观的界面、优化的工作流程和扩展功能来增强用户体验。它使操作员能够有效地分析和解释检查数据，有助于更快地制定决策并提高整体生产力。
核心技术
Quadra™ 7 Pro 可生成良好的超高清图像。内部设计的高性能 X 光管和检测器确保让您看到非常微小的细节，并立即发现缺陷。一切清晰立现
新款 Onyx 检测器
提高了速度
减少了噪音
提高了清晰度
诺信最新的 QuadraNT 管
提高了清晰度
简化了操作
新款 Revalution 软件
优化的工作流程
提高了稳定性
易于使用
符合人体工程学的设计
超宽曲面显示屏
规格参数
| DAGE Onyx HL检测器 |
| 像素分辨率 |
6.5 MP |
| 帧率 |
25 fps |
| DAGE QuadraNT X射线管 |
| 光管类型 |
DAGE Mk4 双模式 20W |
| 特征分辨率 |
<100nm (低于10W 时） |
| 最大靶功率 |
20W |
电压： |
30 - 160千伏 |
| 检测 |
| 斜角视图 |
2 X 70° - 无需旋转样品，可实现样品360° 观察 |
| 防振 |
主动减震 |
| 可检测区域 |
510 x 445 mm (20 x 17.5英寸） |
| 几何放大倍率 |
2500倍＋数码放大 |
| 系统放大倍数 |
68,000倍 |
图像色深 |
16位 |
| 显示器 |
40英寸超宽显示器（5120 x 2160） |
| 系统 |
| 设备尺寸 |
1570(宽）X 1500(深）X 1900(高）mm |
| 系统重量 |
1950 kg |
| 电源 |
单项200至230V交流电，50/60Hz, 16A |
| 能耗 |
1kW |
气源 |
5-8 巴清洁干燥的空气，用于防振 |
| 运行温度 |
10-30°C |
| 湿度 |
<85% (无冷凝水附着） |
| 操作方式 |
鼠标点击 |
| 软件 |
Revalution |
| 操作系统 |
Windows 64位操作系统 |
| X 射线安全性 |
<1微西弗/小时，符合所有相关的国际标准 |
| 可选配件 |
| X-Plane |
无需额外硬件实现平面 CT扫描 |
| µCT |
使用µCT平台，创建高分辨率的三维模型 |
| 条形码读取器 |
轻松完成产品追溯 |
| 操纵杆 |
USB 接口的操纵杆模块 |
辐射过滤盘 |
降低样品暴露于X射线下的剂量 |
| 晶圆托盘 |
用于放置300mm和200mm 晶圆
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