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Sonoscan D9650™ C-SAM 超声波扫描显微镜

 

 

 

 

 

 

产品简介
D9650和上一代产品一样提供了良好的精度和稳健性,增加了一个合并了PolyGate™技术和Sonolytics™的改进型的电子与软件平台。D9650 C-SAM 超声波扫描显微镜是理想的用于失效分析、工艺开发、材料特性和小批量生产的工具。

产品原理
利用不同材料对超声波声阻抗不同,对声波的吸收和反射程度不同,来探测半导体、元器件的结构、缺陷、对材料做定性分析。

特点和优势
* 带有Multi-Gate™ 及Probing-Gate™ 功能的PolyGate™ 技术可以进行单一及多层自动聚焦成像
* 每频道多达100个Gates
* Windows 10® Sonolytics 2™ 界面,64字节处理能力
* 线性马达扫描仪可扫描JEDEC托盘
* 带有塔式安装扫描参考平台及样品定位架,更加精准
* 方便使用扫描区域使安装、拆卸更加方便,可以扫描JEDEC托盘或300mm晶圆片
* 定量的B-Scan是Sonoscan独有的分析模式(Q-BAM)
* B-Scan模式提供了虚拟横截面视图,并带有准确的极性、幅值和深度数据

D9650 C-Mode 扫描声学显微镜是新一代声学显微图像(AMI)技术革新的一部分。无论你需要用于失效分析、工艺开发、材料特性和小批量生产或其它的试验室检查,D9650都会提供这些服务能力。

先进的Sonoscan 功能增加了价值和信心,比如Visual PolyGate™、移动地图、像素间距等等。具有的大尺寸、容易进入的且有灯光照明的扫描区域,以及它扫描塔的参考扫描和固定装置使得D9650有能力来快速的扫描各种样品,包括从单个器件到两个JEDEC托盘的器件。

除了充满Sonoscan创新外,D9650还是为用户用心设计的。它的人体工程学特点使得使用比较舒适和方便。它的先进应用软件Sonolytics™和新的直观的操作界面菜单有助于使结果良好展现,并同时节省了操作员的时间。D9650是新一代的C-SAM设备,提供了一整套的技术、人体工程学等。

厂务需求
通用电压 - 90V到250V AC,单相,50/60 Hz,15安培(120V)
外形–直式桌子:长宽高 1.89 x 0.74 x 1.58 m (74.5 x 29.0x 61.9 英寸)